質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn):
分子式:HF 分子量:20.01 | |||
序號 |
項目 |
單位 |
規(guī)格值 |
1 |
氫氟酸 (HF) |
wt% |
≥99.999 |
2 |
氯化物(Cl) |
ppb |
≤100 |
3 |
硝酸鹽 (NO3) |
ppb |
≤100 |
4 |
磷酸鹽(PO4) |
ppb |
≤100 |
5 |
硫酸鹽(SO4) |
ppb |
≤100 |
6 |
硅(Si) |
ppb |
≤100 |
7 |
鐵(Fe) |
ppb |
≤50 |
8 |
鎳(Ni) |
ppb |
≤50 |
9 |
鉻(Cr) |
ppb |
≤50 |
10 |
銅(Cu) |
ppb |
≤50 |
11 |
鈉(Na) |
ppb |
≤50 |
12 |
鈣(Ca) |
ppb |
≤50 |
性狀:
無色透明液體,在空氣中冒白煙,有強烈刺激性氣味,劇毒,并有強烈的腐蝕性,沸點19.5℃。
用途:
半導(dǎo)體蝕刻。
貯存:
貯存在帶棚的庫房中。嚴(yán)禁暴曬,嚴(yán)禁與易爆物品混放。
運輸:
按一級無機酸性腐蝕物品對待。
包裝:
用中壓高純鋼瓶包裝,每瓶4L、10L、40L或依客戶要求。
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